1. Čistoća
Čistoća mete za raspršivanje treba biti najmanje 99,95 posto. Što je veća čistoća, to su bolje performanse raspršenog filma.
2. Gustina
Relativna gustina mete za raspršivanje trebala bi biti veća od 98 posto. Meta veće gustine može smanjiti prskanje čestica filma tokom procesa premazivanja, čime se poboljšava kvalitet filma.
3. Struktura zrna
molibden meta za raspršivanje je polikristalna struktura. Tokom raspršivanja, ciljni atomi se lako raspršuju duž najbliže raspoređenog smjera heksagonalnih atoma. Da bi se postigla maksimalna brzina raspršivanja, potrebno je povećati brzinu raspršivanja promjenom kristalne strukture mete.
4. Veličina zrna
Veličina zrna može varirati od mikrona do milimetara. Brzina raspršivanja mete sa finim zrnom je veća od one mete sa krupnim zrnom, a distribucija debljine nanesenog filma je takođe relativno ujednačena za metu sa malom razlikom u veličini zrna.
5. Vezivanje mete i šasije
Prije prskanja, metu treba spojiti na bakrenu šasiju bez kisika kako bi se osiguralo da je toplinska provodljivost između mete i kućišta dobra. Nakon vezivanja, vrši se ultrazvučna inspekcija kako bi se osiguralo da je površina bez vezivanja manja od 2 posto, kako bi se ispunili zahtjevi raspršivanja velike snage.
